DS系列台式真空共晶炉是中科同帜半导体专为科研实验室、高校研究所和小批量生产企业设计的真空共晶焊接设备。该系列设备在紧凑的台式结构中集成了真空、加热、压力控制等核心功能,满足芯片封装、功率器件烧结、MEMS键合等多种工艺需求。
DS系列主要技术参数
DS系列台式真空共晶炉具备以下典型技术参数:
- 工作区尺寸:100×100mm(适配多种基板规格)
- 最高温度:450°C(可定制500°C)
- 真空度:≤1Pa(机械泵)/ ≤0.01Pa(分子泵配置)
- 压力范围:0.5-50N(可调)
- 温度均匀性:±3°C
- 加热方式:电阻加热,多区独立控温
适用场景
DS系列台式真空共晶炉广泛适用于以下场景:
- 高校科研实验室芯片封装教学与实验
- 研究院所新材料焊接工艺研究
- 企业研发中心小批量样品制作
- 功率器件银烧结工艺验证
- MEMS传感器真空键合实验
- LED封装工艺开发
设备优势
相比大型产线设备,DS系列台式真空共晶炉具有以下显著优势:
- 体积紧凑:台式设计,占地面积小,适合实验室环境
- 操作简便:触摸屏控制,一键式工艺程序运行
- 快速升降温:升温速率可达50°C/s以上,提高实验效率
- 真空保护:真空环境下焊接,避免氧化,提高焊缝质量
- 低成本入门:适合预算有限的科研团队和小型企业
中科同帜半导体服务承诺
购买DS系列台式真空共晶炉的客户可享受中科同帜半导体提供的全面技术支持:设备安装调试、操作培训、工艺参数开发指导、一年质保及终身技术支持。我们还可根据客户特殊工艺需求提供定制化改造服务。


